等離子凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

低溫等離子體技術處理污染物的原理是：在外加電場模塊的作用下，放電產生大量的攜能電子分裂污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便產生物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉化為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質。

那我們如何判斷是否是真正意義上的低溫等離子體技術 在廢氣凈化的通道上必須充滿了低溫等離子體；低溫等離子體處理系統必須要有一定的放電處理功率。